半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
项目流程视频背景
该品牌为高度世界领先的半导公测品牌,最靠近珠角形地段,主要是开展高端定制鑫霖环保芯片的片区和封裝測試。犹豫日本环保健康规范要求严格的,品牌确定具体实施废气零产生工程建设。的项目于202四年启动服务器,202四年6月开建投入运营,加工处理企业规模为200吨/日,总投资的约2000千元。
污废水 组成及的来源
本项目地片区污废水 还具有左右特别:
高有机废气质量浓度氟化物,大部分存在晶圆水刀切割后的清洁工作步骤,氟阴离子有机废气质量浓度高达到150-200mg/L
有效nm级硅粉科粒,颗粒直径多在100-500nm期间
有机的容载较高,COD在500-800mg/L
所含微量分析天价属如铅、镉等
导电率高,经常在2000-3000μS/cm
处里工序方法
为达到临“0”排放口最终目标,流程开发关键采取废气分类管理再利用和自然资源再利用:
废气划分采集模式
:将含氟化工废污水与相关化工废污水拆开搜集
化学反应乳浊液除氟
:进行二级钙盐放置物法,结合高质量放置物池
高等级阳极氧化治理
:三氧离子液体腐蚀化学降解难正确处理充分物
膜沉淀整体
:进行DTRO碟管式反浸入,高浓7的倍数为10倍
减压蒸馏成果
:MVR机械制造减小空气再减小冷却器器加工处理浓水
太干控制系统
:将沉淀盐常温、干燥后看作产业副软件外售
补救功效
体统行驶数据报告现示:
氟化物清理率>99.9%,水流氟阳离子<1mg/L
COD总去掉率>98%,冒水COD<20mg/L
有限水源英文收废率>95%,仅行成少量出析出盐
年均可收集高产品质量循环水约6万吨
晶体盐溶解度达到了工业化的级标准单位,保证物资化回收利用
項目不仅仅改变了化工废水无废气排放标准,还经过资源量收集营造了约80W/年的更多回报。