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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

创业项目情况 该半导体器件开发产业园地处华北省份,总股权投资超200万亿,核心生产方式12屏幕尺寸晶圆和最先进封装形式产品设备。产业园日污染物口废容量约5000吨,含盖多样生产技术工业企业废水治理 工艺,治疗麻烦大。内容追求工业企业废水治理 工艺治疗后超过《电子技术工业企业水环境破坏物污染物口的标准》(GB 39731-2020)有点污染物口最大限度,一些循环率不压低60%。 废水处理成份及起源 含氟废污水:重要来自五湖四海晶圆蚀刻、家电清洗步骤,氟化合物氧化还原电位达200-500mg/L,pH值起伏较大大 无机废水处理工艺:光刻、定影、去胶等流程存在,COD盐浓度300-800mg/L,所含异丙醇、二甲苯等无机相转移催化剂 含铜废污水:化学物质镍、化学物质机械设备增加光泽(CMP)多种工序引起,铜亚铁离子氧化还原电位50-150mg/L 酸性废水处理工艺:环保设备洗掉、烟粉尘洗衣等要素产生,pH值在2-12两者之间下跌 粉磨焦化废水:CMP工作造成,有nm级二硫化硅科粒 治理生产技术步骤 用到"各类汇集+分质操作+程度再生"的搭档鑫霖环保: 含氟生产废水加工线 : 二级化学工业结晶:先加药系统氯化钙可以调节pH至6-7,后加入PAC和PAM斜板滤渣池结晶 活力被氧化铝粉吸咐:确认氟阴离子浓硫酸浓度低于5mg/L下 活性污泥经板框压滤后授权委托书靠谱处治 生物碳工业废水治理技术线 : 微电解设备设备预除理:铁碳微电解设备设备吸附生物大分子式有机化学物 UASB厌氧发酵反响器:HRT=24h,COD剔除率>60% MBR膜生物技术表现器:利用PVDF空心纤维棉膜,通量15LMH 含铜化工废水处置线 : 化学物质沉淀自己物:添加NaOH设定pH至9-10,养成Cu(OH)2沉淀自己物 铁亚铁离子交換:多级树脂材料交換抓好铜铁亚铁离子<0.3mg/L 钛电极收集:一些焦化废水经钛电极收集材料铜 总合正确处理整体 : 控制池:平衡水质量用水量,设水解酸化混合 沥青混凝土乳浊液:加药系统挽回水解酸化池剂弄掉氢氧化铁元素 什么是臭氧催化反应被氧化:分解难分解有机会物 ro反渗透性和系统软件:脱盐率>98%,产水循环于生产方式线 飞灰加工系统性 : 厌氧颗粒污泥浓缩咖啡池:物质质量浓度从1%增加至3% 抽滤缺水:添加PAM調理,泥饼水分含量率<75% 超低温干化:位置厌氧颗粒污泥干化至含水分率30%下面的 决定作用 创业项目起建启用后,杜六房加盟总部的公式保持稳定完成:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜铁离子<0.3mg/L、pH 6-9。工艺废水处理水水质规范完成GB/T 19923-2005工艺加水规范,工艺废水处理率65%,去年省新鲜的水消耗量约130万吨。废水导致量抑制40%,安全隐患废物回收处治料工费减轻35%。体统全自动化化状态高,高清在线监测网数剧与坏保部门及时登录。

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