半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
工作环境
该流通业园集结了十余家半导体行业涉及到的机构的,设计构思日补救力5000吨,要补救来自五湖四海不一样的机构的的混合型喂养废液。因各机构的工作艺对比分析大,废液营养成分更复杂善变,补救分值较高。
生产废水部分及渠道
焦化污水常见涵盖三种类:高氧化反应还原电位硅化物焦化污水(光刻胶、成像液等)、含氟焦化污水(刻蚀道步骤)和强酸强碱焦化污水(家电清洗道步骤)。层次性部分涵盖异丙醇、四甲基氢氧化反应铵等难吸附硅化物物,包括氟化物、高锰酸盐指数等硅化物环境污染源。焦化污水COD价格波动大(500-3000mg/L),氟化物氧化反应还原电位100-500mg/L,高锰酸盐指数50-150mg/L。
处里的工艺生产流程图
采取"分级采集+分质办理+汇集高度办理"的什么是创新的模式:
企业里面的分为预正确清理:含氟废气设定收藏并预正确清理
经济区污水管等细分传送平台
融合调整池均衡教育饮用水质
多级混凝土发展的还原飘浮物和胶体溶液
高效率动物想法器(HBR)外理无机环境破坏物
臭氧老化催化反应反应氧化反应生物降解难细化无机物
超滤法系统去脱盐除理
UV紫外线紫外灯消毒保障满水后健康
很装置了在线视频监测站设备软件和自己投药设备软件,对待水环境价格波动。
结果使用效果
程序运作2年来,补救疗效维持可信度。有水出COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,高锰酸盐指数<5mg/L,总氮<15mg/L,到达河流Ⅳ类标淮,位置工业废水处理于工业该项目公路绿化及蒸发塔补湿,工业废水处理率不低于30%。每一年的限制鲜活水动用约30万吨,为工业该项目企业主省去有水费上百千元。