品牌底色
本次目在华北地段二家口碑好半导体材料加工制造工业企业,重要制作849英寸和1249英寸晶圆。跟着生产量升降,磨细生产工艺引发的废污水流量从早先的200吨/日添加到350吨/日,改变外理设施管理已不能做到需要,且留水饮用水不固定,亟待搬迁和整修废污水外理系统软件。
生活污水化学物质及因素
该中小型企业机磨废渣通常来于这工艺:
有机化学机戒考虑抛光(CMP)废污水:有效二空气腐蚀硅、空气腐蚀铝等考虑抛光颗料,比表面积在0.1-1μm的范围
晶圆上面粉磨废水处理工艺:含有硅粉、彩石亚铁离子(铜、铝等)及少量出有机质使用剂
切块精磨焦化废水:重要基本成分为增碳硅粒子和切油水乳
废水处理工艺性具体表现为:pH值起伏大(2-11)、浮窗物含量高(500-2000mg/L)、包含的少量高价属和难生物降解有机肥料物,COD常常在200-500mg/L的范围。
解决的工艺具体步骤
经途频繁小试和中试,最后肯定所采用一下治理 流程:
调接池
:快速设置pH网上数据监测和会自动投加药剂软件,将废污水pH稳定的在6.5-7.5标准
混疑凝固
:添加聚合不良反应氯化铝(PAC)和阴铁离子型聚乙烯塑料酰胺(PAM),比调不良反应后进入斜板沉淀出的池
溶气气浮
:适用方面离交柱式溶气气浮,进一部快速清理不起眼颗粒剂和氢氧化铁物
多导电介质净化
:用于石英石砂+活性酶炭有级过滤系统,确定喷水SS<10mg/L
膜治理系统性
:包含反渗入膜(UF)和反渗入(RO)两极,RO浓水单单整理
活性污泥补救
:析出随和浮活性污泥经板框压滤后清运处里
重中之重的工艺性能指标:混疑的阶段G值操纵在60-80s⁻¹,作用准确期限15min;气浮流回比30%,驻足准确期限20min;反渗装置通量60LMH,反渗回收并率75%。
进而功能
系统正常运行固定后,出水量水的硬度全达到了《电子为了满足电子时代发展的需求,产业水环保问题物废气尾气排放标准条件》(GB39731-2020)比较废气尾气排放标准最大限度必须,主耍目标下面:
SS<5mg/L(除掉率>99%)
COD<30mg/L(剔除率>93%)
铜阴离子<0.3mg/L
满水后工业废水处理率做到65%之上
废水减轻药量40% compared to原技术
本项目总的投资约1200万块人民币,开机运行成本价约8.5元/吨水,年可缩短生活污水排污量六万多吨,二手回收水教育资源4万桶,经济发展经济发展和室内环境经济发展更为明显。