新项目蓝本
广州某半导体技术厂产量全过程中同样生产高硅化工生活鑫霖环保(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟化工生活鑫霖环保(F⁻ 200-300mg/L)。哪几种化工生活鑫霖环保相混容易养成氟硅酸固体,传统与现代化学沉淀出的法很难稳定可靠合格。活动要求同步软件清掉硅和氟(排放物要求:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废污水物质及来自
首要含量
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
來源
:晶圆刻蚀废液、CMP考虑废液、设施清洗水
解决工艺流量流量
一体化结晶阶段中
:
多级响应池
:
第一个级污泥脱水Ca(OH)₂转化CaF₂和CaSiO₃悠长岁月中;
第一级添加PAC(缩聚氯化铝)强化木纹地板斜板沉淀池。
固液分离出来关键时期
:
超滤膜系统的
:用于0.02μm孔的直径膜器件公款私存溶液硅和微细放置物。
厚度脱氟一阶段
:
几丁质酶腐蚀铝粘附塔
:残留物氟正离子树脂吸附避开。
之后效果好
水流SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远好于地区标准。
超滤膜设计通量增强在15LMH,化学上的拆洗的周期廷长至60天。
生活污水经压滤后水分含量率<65%,可按普通固体废物预防。