某半导体行业处里器生形成产厂家在晶圆加工制作期间中,选用硅烷开始硅概念生长的,氮氧化合物干洗塔形成高含量的含硅焦化生活污水。焦化生活污水拥有pH波动性大(2-11)、硅含量的高的特殊性,常用处里方式易诞生硅垢梗塞事情。
废液材质及来历
焦化废水注意化学物质为:
溶解完性硅酸盐
:SiO₂溶度达1000-1500mg/L
氢被氧化钠/氢被氧化钠
:干洗塔腐蚀性干洗液余留
粉末硅
:納米级SiO₂固体
痕量砷
:材料沉淀物带
加工技艺注意事项
创新性采用了"多级中合+膜滤过+挥发凝结"加工:
4级中合
:用CaO转换pH至4-5,转换硅酸钙奠定,硅弄掉率60%。
特殊中合
:加Na₂CO₃将pH不断提升至9,进这一步放置累计硅,电容串联用镁剂除砷。
超滤膜程序
:0.02μm淘瓷膜滤水納米级硅粉末,通量稳固在80LMH。
MVR蒸馏器
:精炼高盐工业废水,结晶体出Na₂SO₄副物料,水中水回用率超90%。
从而成效
总硅从1500mg/L降为5mg/L下类
砷含锌量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
系统性无积灰加载高达2年
年利用硝酸钠钠结晶体约800吨