某半导体设备营造中小型企业因晶圆洁净工作带来含氨废液，的水量200吨/天。废液中除氯离子外还包含有氟化物和轻微天价属，处里关卡大。立即废气标淮耍求氯离子＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水组成及特征 晶圆拆洗废污水（通常收入）：含氟化物200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀环节废气：含氢化物发生器铜、镍等高价属，pH值动荡大 CMP碾磨污水：含硅顆粒及氧化还原电位 补救艺方法 采用了"有机化学沉淀物+膜区分+折点氯化"组成工艺设计： 预进行处理 ：添加CaCl2除氟，调节pH在7.5-8. 反渗透装置平台 ：取除0.01μm上述粒状物 反覆盖浸提 ：将氧化还原电位萃取至1000mg/L上面 折点氯化 ：精确性把握氯污泥脱水量，将氧化还原电位还原成为离氮气 铁离子更换 ：得到保障天价属未达标 最中疗效 氧化还原电位不稳＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属分量不超在线检测限 水循环率达75% 污泥干化导致量可以减少40%