天津某半导体设备集成电路芯片手工生产商，晶圆鑫霖环保进程中呈现含硅、氟的专项 污水，结构设计治理投资额1200吨/日。污水材质复杂化，具有奈米级硅粉末及盐酸，过去的治理工艺不可及格。 污废水 有效成分及来自 一般影响物 ：氢氧化铁硅（100-500nm颗粒直径）、氟亚铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 原因工艺技术 ：晶圆刻蚀废液（45%）、CMP化工机器磨光废液（40%）、设施设备洗水（15%） 处理制作工艺操作流程 改革创新选用"催化沉定+特类膜脱离"技艺路经： 钙盐沉垫 ：加药系统氯化钙除掉氟阴离子（转换成CaF2积累） 水解酸化池反馈 ：复合材料水解酸化池剂推动固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm管径膜截流微细颗料 反融于程序 ：脱盐率>98%，收购率75% 蒸发器沉淀 ：浓水段变现氟化物零废气排放 结果成果 氟化物氨水浓度：<8mg/L（高于地区一层标准规定10mg/L） 硅水平：<5mg/L 水市场循环率：70%使用于降温塔补水保湿 危险废弃物减轻：减压蒸馏沉渣量较过去的工艺设备减低60%